Mehrachssysteme

• air-lubricated bearing
• multi-axis systems
• direct drive with linear motors
• can be protected from the penetration of dirt and dust
• suitable for high-speed applications
• adapted as integrated devices into your control system or fitted with an internal control system

LinearAchsen

• air-lubricated bearing
• friction-free and stick-slip-free movement
• high precision
• very high repeat accuracy and synchronism
• can be supplied with guide track coverings
• can also be operated as Z-axes

Drehtische

• available as round tables without motors and measuring systems (passive round tables)
• available as direct drive round tables with integrated motor and measuring system (active round tables)
• Highly precise axes have concentricity errors up to 50 nm radial and up to 20 nm axial
• suitable for chip removal operations

Luftlager Pads

• Linear systems can be efficiently and economically assembled with basic air bearings (air bearing pads)
• standard air bearings with diameters of 20 mm to 500 mm
• load-bearing capacity of up to 100 kN
• air bearings with integrated suction for cleanroom or vacuum applications available
• rectangular air bearings, high-speed bearings and vacuum preloaded air bearings available

Spindeln

• High-precision and high-speed air bearing spindles
• for mechanical processing or scanning

Linearachsen

• Verfahrbereich bis zu 2800 mm
• Auflösung von 2,5 μm oder höher
• X-Y-Z-Konfigurationen verfügbar
• Hohe Genauigkeit der Führungsbahnen
• Vakuumversionen verfügbar

Achsen mit Direktantrieb

• Verfahrbereich bis zu 300mm x 300mm
• Genauigkeit bis zu ±0,5μm
• Hohe Lasten bis zu 150kg
• Bidirektionale Wiederholgenauigkeit bis zu ±0,5μm

Hubtische

• Lasten bis zu 8kg
• Verfahrbereich bis zu 25mm
• Reproduzierbarkeit ≤ 3μm
• Vakuumversionen verfügbar

Drehachsen

• Mit oder ohne Blende
• Hohe Belastung bis zu 1000kg

Goniometers

• Reibungsloser Betrieb
• Verfahrbereich ±2,5°
• Hervorragende Stabilität
• Stapelbar (1 oder 2 Drehachsen)

Motorisierte Irisblenden

• Verschiedene Blendenbereiche
• Reibungsloser und schneller Betrieb
• Kompakte Bauweise

Schrauben und Aktoren

• Verfahrbereich bis zu 25mm
• Hohe Belastung bis zu 70N
• Vakuumversionen verfügbar

Kundenspezifisch

Bewegungs Kontroller

• Ein Kontroller, eine Schnittstelle für jeden Motortyp (Bipolar Stepper, DC, BLDC)
• Kompatibel mit Windows XP/Vista/7/8/10, Linux, Mac OS
• Max. Geschwindigkeit – 35000 Schritte/s (Schrittmotor); 800000 Encoderzählungen pro Sekunde (DC)
• Code-Beispiele für Visual Basic, C, C#, C++, Matlab, Labview, Python

Vacuum

• Vakuum 10^-6 mbar, Ausheizen bei 80°C
• Hochvakuum 10^-7 mbar, Ausheizen bei 100°C
• Ultrahochvakuum 10^-9 mbar, Ausheizen bei 110°C
• Ultrahochvakuum Spezial
• 10^-10 mbar, Ausheizen bei 200°C

Kryogen

• Standard 77°K
• Vakuum-kompatibel
• R & D 4°K

Piezo AKtoren und Achsen

Positionierungs Tools

Lichtwellenleiter-Switches

Spezial Lösungen

Verstärker