Unser Partner SIOS Messtechnik GmbH kündigt ein neues Webinar an
Datum: 08. März 2022
Uhrzeit: 08:30 MEZ oder 15:30 MEZ
Der allgemeine Trend zu Präzision, Miniaturisierung und Automatisierung in Industrie und Forschung stellt hohe Anforderungen an Präzisionsmesssysteme. Diese sollen die geometrischen Abmessungen von Objekten genau messen. Das Webinar „Hochpräzise Dickenmessungen mit taktilen Tastern“ wird sich mit diesem Thema befassen.
Dabei ist die hochpräzise eindimensionale Messung der Dicke von Präzisionsobjekten eine besondere Anwendung. Speziell entwickelte Aufbauten auf der Basis von taktilen Tastern sind in der Lage, die Dicke mit Messunsicherheiten im Bereich von 10 nm zu erfassen. Beispiele hierfür sind Endmaßkomparatoren oder Aufbauten für die Messung der Dicke von Präzisionsoptiken oder Siliziumwafern.
In unserem ca. 45-minütigen Webinar erhalten Sie einen Einblick in die Problematik der hochpräzisen Dickenmessung von ausgedehnten Objekten mit taktilen Messköpfen.
Beginnend mit der Diskussion typischer Einflüsse und Beiträge zur Messunsicherheit, vergleichen wir verschiedene Geräteprinzipien für diese taktile Längenmessung.
Wir stellen die interferometrischen taktilen SIOS-Taster LM 20 und LM 50 vor und diskutieren deren Vorteile gegenüber anderen hochpräzisen Tastern, sowie Anwendungsbeispiele für hochpräzise Dickenmessungen wie den SIOS-Endmaßkomparator, den Linsen- oder Wafer-Dickenmessaufbau.
Schließlich stellen wir Beispiele vor, wie bestehende (taktile) Längen- und Dickenmessaufbauten mit Interferometern aufgerüstet werden können, um ihre Auflösung und Präzision zu erhöhen.
Auf einen Blick:
- Geometrische Definition der Dicke
- Grundsätze der taktilen Dickenmessung
- Einflüsse und Beiträge zur Messunsicherheit
- SIOS interferometrische taktile Messtaster LM 20 und LM 50
- Anwendungsbeispiel
- Endmaßkomparator
- Aufbau zur Linsendickenmessung
- Wafer-Dickenmessplatz
- Aufrüstung eines bestehenden Längen- und Dickenmessaufbaus mit Interferometern
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